先进制程与工艺集成

芯片制造--半导体工艺制程实用教程(第6版英文版)/国外电子与通信教材系列 作　　者 ： (美)赞特 出 版 社 ： 电子工业 定　　价 ： 79.00 ISBN 号 ： 9787121243783 出版日期 ： 2014年11月 版　　次 ： 6 印刷日期 ： 2014年11月 印　　次 ： 1 页　　数 ： 546 字　　数 ： 1026千字 装　　帧 ： 平装 开　　本 ： 16开